电子芯片净化车间要求

1、室内空气必须维持在质量合格的状态，须确保温度、湿度、气流和空气中的污染物的控制;

2、空气污染物的控制一般采用过滤系统和排气系统，其中过滤系统应采用高效过滤器，滤芯流量必须符合要求;

3、安装有负压系统，保证室内空气流动，以防止外界空气进入;

4、洁净室内应设置防静电系统，以防止外界静电影响电子芯片;

5、室内应设置空气净化系统，以除去空气中的污染物;

6、室内空气检测系统应定期测量空气质量，以检测是否符合要求;

7、室内应安装有洁净室内消毒系统，以确保室内洁净度;

8、室内应安装有洁净室内监测系统，以监测室内洁净度;

9、室内应安装有自动喷雾系统，以防止空气污染物的污染;

10、 室内应安装有温湿度控制系统，以保持室内温湿度稳定。